根據《中華人民共和國政府采購法》等有關規(guī)定，現對山東大學等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)進行其他招標，歡迎合格的供應商前來投標。

項目名稱：山東大學等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)

項目編號：SDJXHD20230357-Z197

項目聯(lián)系方式：

項目聯(lián)系人：田老師

項目聯(lián)系電話：0531-88366151

采購單位聯(lián)系方式：

采購單位：山東大學

采購單位地址：山東省濟南市山大南路27號

采購單位聯(lián)系方式：魯老師 0531-88363689

一、采購項目內容

擬購買的等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)適用于在低溫下在晶圓上沉積鈍化層同時實現無損傷的沉積。該設備能夠制備高致密度的保護膜作為半導體器件表面保護層，可實現對功率芯片與外界環(huán)境的隔絕，包含氧氣、水蒸氣等，是實現高可靠性功率芯片的重要因素，是銜接芯片制備和下游封裝的關鍵環(huán)節(jié)。

經用戶調研，擬購買SPTS公司的設備能夠在200℃以下沉積SiO2薄膜，同時通過沉積階段引入H2和沉積后H2等離子體處理，分別能夠提高SiO2薄膜的致密度和抑制水蒸氣在SiO2表面的吸附，對降低漏電流、提高擊穿電壓具有顯著作用，實現107V·cm-1的耐壓指標，調研的其他企業(yè)都難以實現上述指標。另一方面，擬購設備具有獨特的托盤溫控設計，為了實現較低溫度下托盤的溫度均一性，用熱空氣代替?zhèn)鹘y(tǒng)的電阻絲加熱方式，避免溫度過沖的風險，以實現高指標大面積介質層薄膜的沉積。SPTS Technology Ltd.公司在國內的指定合作供應商為蘇美達國際技術貿易有限公司。因此采用單一來源方式采購。

擬定唯一供應商名稱：蘇美達國際技術貿易有限公司

二、開標時間：2024年02月02日 14:30

三、其它補充事宜

獲取采購文件：登錄山東大學采購網（http://www.cgw.sdu.edu.cn/）進行供應商注冊，注冊完成我中心審核通過后，再次登錄系統(tǒng)在線提交獲取采購文件申請，審核成功后自助下載采購文件。

投標流程：

本項目采用電子招投標方式采購。投標供應商必須按相關程序辦理數字證書和安裝投標文件工具后方可上傳遞交投標響應文件。詳細操作說明見山東大學采購網（www.cgw.sdu.edu.cn）--資料下載--山東大學電子投標指南文件。

發(fā)布公告媒介：本次采購公告在中國政府采購網和山東大學采購網上發(fā)布。

公告時間：自本公告發(fā)布之日起五個工作日。

四、預算金額：

預算金額：990.000000 萬元（人民幣）