1、采購標(biāo)的需實現(xiàn)的功能或者目標(biāo)

穆勒矩陣橢偏儀可通過穆勒矩陣、橢偏參數(shù)、透射/反射率等參數(shù)的測量，實現(xiàn)各種光學(xué)薄膜和納米結(jié)構(gòu)的幾何形貌參數(shù)和光學(xué)特性參數(shù)的表征分析，特別適用于各向異性薄膜材料的測量表征、材料新特性和新物理現(xiàn)象的描述分析。

軟件具有多類薄膜和納米結(jié)構(gòu)建模功能，可實現(xiàn)周期性納米光柵建模仿真測試，具備常見材料光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫、常用振子模型（柯西模型、洛倫茲模型、高斯模型等），支持多組分薄膜與體材料光學(xué)常數(shù)、折射率梯度分布、等效介質(zhì)模型，支持圖形化多振子混合模型擬合功能，支持用戶自定義光學(xué)材料庫。

2、執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范

GB/T 31225-2014 橢圓偏振儀測量硅表面上二氧化硅薄層厚度的方法

JJF 1932-2021 橢偏儀校準(zhǔn)規(guī)范

    實用新型專利: 一種光譜橢偏裝置【L202223363532.0】

    發(fā)明專利:一種雙旋轉(zhuǎn)補償器穆勒矩陣橢偏儀系統(tǒng)控制【ZL201911369716.8】

發(fā)明專利: 一種基于橢偏儀待測樣件參數(shù)測量方法【ZL202011233872.4】

3、需滿足的質(zhì)量、安全、技術(shù)規(guī)格、物理特性

質(zhì)量把控： 供應(yīng)商應(yīng)嚴(yán)格按照行業(yè)SOP標(biāo)準(zhǔn)，對原材料進行嚴(yán)格的質(zhì)量管控，嚴(yán)格執(zhí)行設(shè)備出廠流程，做好設(shè)備性能指標(biāo)以及運行可靠性的保障。

安全注意事項：1）儀器出現(xiàn)異常時，請根據(jù)計算機上的錯誤顯示窗口中顯示的錯誤信息，嘗試將儀器恢復(fù)到正常工作狀態(tài)。如果儀器無法恢復(fù)正常，請與本公司客服聯(lián)系； 2) 在儀器出現(xiàn)異味、異樣的聲音、冒煙等異常情況時，請迅速切斷電源，使儀器停止運行；3) 在長期不使用儀器的情況下，請切斷儀器總電源。此外，在長期停止工作后再次啟動儀器時，請在例行檢查之后，再接通儀器的電源。

技術(shù)規(guī)格：

物理特性：供電電源電壓：220V AC；正常頻率范圍：49~51Hz；相電流：有效值小于 4A（220V AC）；功率：小于880 W。

4、采購數(shù)量、時間、地點

1臺；2024年6月；遼寧材料實驗室

5、需滿足的服務(wù)標(biāo)準(zhǔn)、期限、效率等要求

設(shè)備質(zhì)量保證期為驗收之日起12個月，在接到用戶故障信息后要求4小時內(nèi)響應(yīng)，1個工作日排除故障，48小時內(nèi)安排工程師上門；保修期內(nèi)，供貨方向采購方免費提供及時的維修服務(wù)和維修所必須的零配件；設(shè)備保修期過后，要求能終身提供廣泛優(yōu)惠的技術(shù)支持。

6、驗收標(biāo)準(zhǔn)

按照設(shè)備技術(shù)協(xié)議規(guī)定的性能參數(shù)驗收：

1. ▲偏振測量參數(shù)：Psi：0-90°，Delta：-90-270°，16組Muller Matrix

2. 光譜范圍：380-1000nm

3. 調(diào)制技術(shù)：雙旋補償器PCr1SCr2A調(diào)制技術(shù)

4. 測量時間：＜15秒，全流程時間

5. ▲微光斑尺寸：200μm（短軸），配置雙安全自動識別傳感器

6. 測量角度：45-90°，自動變角

7. 找焦功能：0-20mm，自動找焦

8. 可視化調(diào)平系統(tǒng)：支持樣件臺可視化輔助對準(zhǔn)調(diào)平

9. ★膜厚重復(fù)精度：優(yōu)于0.005nm（100nm SiO2/Si，30repeats，1σ）

10. ★折射率重復(fù)精度：優(yōu)于0.0002（n @632.8nm，100nm SiO2/Si，30repeats，1σ）

11. ★絕對精度：穆勒矩陣非對角元素優(yōu)于m=0±0.005（測量空氣， 90%滿足）

12. ★退偏精度優(yōu)于：±0.5%（測量裸硅，全波段90%滿足）

13. ▲退偏態(tài)修正：修正半峰寬Bandwidth，厚度不均勻Non-uniformity及非零級光散射Angular等退偏態(tài)

14. 樣品臺：具備X/Y/Z/Rz、俯仰五維可調(diào)，支持Ф200mm樣件真空吸附固定測量

15. ▲數(shù)據(jù)建模：多種數(shù)據(jù)擬合度（MSE/GOF/nGOF）評價方式；軟件同界面數(shù)據(jù)文件夾結(jié)構(gòu)化批量管理，一次調(diào)用海量數(shù)據(jù)數(shù)秒內(nèi)批量處理并導(dǎo)出分析報告

16. ▲光柵測量：測量一維/二維周期納米光柵得到結(jié)構(gòu)尺寸值信息，包含光柵頂寬TopCD、底寬BottomCD、傾斜角Offset、套刻誤差Overlay、頂弧Topfillet、底弧Bottomfillet等信息；

17. 分析軟件：Recipe測量模式（Repice編輯保存及一鍵調(diào)用），多達數(shù)百種的光學(xué)材料常數(shù)數(shù)據(jù)庫，用戶自定義光學(xué)材料庫；具備折射率梯度分布Grade建模，光學(xué)各向異性建模仿真與分析功能，至少5個授權(quán)軟件許可

18. 分析電腦：CPU: ≥雙核處理器，RAM: ≥8G，ROM: ≥1024G，顯示器: ≥19寸，windows系統(tǒng)

7、其他技術(shù)、服務(wù)等要求

7.1、技術(shù)資料

供應(yīng)商保證提供完整的技術(shù)資料，包括設(shè)備使用手冊、數(shù)據(jù)分析手冊、出廠報告、產(chǎn)品合格證等資料，符合合同約定并且能夠滿足設(shè)備的安裝、調(diào)試、驗收、操作以及維修和保養(yǎng)的需要。

2、設(shè)備安裝、調(diào)試和驗收

2.1當(dāng)貨物到達采購人指定的交貨地點后，采購人及成交供應(yīng)商依據(jù)設(shè)備供貨清單共同對設(shè)備進行開箱驗收，并對設(shè)備的數(shù)量、型號、外觀等進行逐項檢查。如采購人發(fā)現(xiàn)所提供設(shè)備不符合合同要求時，或有損壞，采購人有權(quán)向供應(yīng)商提出退換和索賠；

2.2 如設(shè)備安裝有特殊要求，供應(yīng)商應(yīng)在合同簽訂后一周內(nèi)以書面形式向采購人提出安裝場地要求，并對采購人就安裝場地的咨詢提供技術(shù)支持；

2.3 在設(shè)備到達采購人場地后，供應(yīng)商應(yīng)盡快組織完成整套設(shè)備的安裝、調(diào)試；安裝、調(diào)試完畢并通過采購人最終驗收后，供應(yīng)商可向采購人提出驗收申請，由采購人組織有關(guān)人員進行驗收。

2.4 采購人及成交供應(yīng)商簽署驗收文件，根據(jù)驗收文件對設(shè)備進行驗收。

3、技術(shù)培訓(xùn)

3.1 在采購人所在地由供應(yīng)商專業(yè)工程師免費對采購人進行軟硬件操作技術(shù)培訓(xùn)，內(nèi)容包括設(shè)備的技術(shù)原理、操作、數(shù)據(jù)處理和基本維護等，直至采購人能獨立操作為止。

3.2 采購人獨立使用后三個月，按采購人要求由工程師進行集中問題解答；采購人獨立使用后半年至一年，由應(yīng)用專家進行深入培訓(xùn)和優(yōu)化操作。

3.3 培訓(xùn)費用：所發(fā)生的培訓(xùn)費用由供應(yīng)商承擔(dān)。