上海機電設(shè)備招標(biāo)有限公司受招標(biāo)人委托對下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國際公開競爭性招標(biāo)，于--在中國國際招標(biāo)網(wǎng)公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式，現(xiàn)邀請合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。
、招標(biāo)條件
項目概況:杭州積海半導(dǎo)體有限公司計劃為英寸集成電路制造項目購買一批設(shè)備
資金到位或資金來源落實情況:現(xiàn)招標(biāo)人資金已到位
項目已具備招標(biāo)條件的說明:具備了招標(biāo)條件
、招標(biāo)內(nèi)容
招標(biāo)項目編號:-/
招標(biāo)項目名稱:晶圓盒清洗機
項目實施地點:中國浙江省
招標(biāo)產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):
序號
產(chǎn)品名稱
數(shù)量
簡要技術(shù)規(guī)格
備注
激光尖峰退火機
套
本設(shè)備主要用于激光尖峰退火
原子力顯微鏡
套
用于特征形貌、深槽和深孔的深度及特征關(guān)鍵尺寸量測，并符合杭州積海半導(dǎo)體(以下簡稱)制程工藝的量測需求
晶圓激光打標(biāo)機
臺
產(chǎn)品制程需求須將晶圓編碼刻號以利識別, 其方式為利用激光刻碼，以客戶指定的位置和內(nèi)容對硅片做統(tǒng)一標(biāo)識，便于對硅片能進(jìn)行有效的追蹤
高壓擴散爐
套
本設(shè)備主要用于高壓退火氧化爐管
傅立葉變換紅外光譜儀
臺
用于測量薄膜厚度及其特定元素之含量，并針對符合杭州積海半導(dǎo)體(以下簡稱)需求線寬的晶圓產(chǎn)品進(jìn)行非接觸與非破壞性式量測
光學(xué)關(guān)鍵尺寸量測儀及建模擬真系統(tǒng)
套
用于周期性的二維、三維特征尺寸和形貌的細(xì)微結(jié)構(gòu)測量，并針對符合杭州積海半導(dǎo)體(以下簡稱)需求線寬的晶圓產(chǎn)品進(jìn)行非接觸與非破壞性式量測
射線光電子能譜儀含建模擬真系統(tǒng)
套
用于一般超薄膜的種類、厚度與成份在線量測，并針對符合杭州積海半導(dǎo)體(以下簡稱)需求線寬的晶圓產(chǎn)品進(jìn)行非接觸與非破壞性式量測
射線熒光光譜儀
臺
用于測量金屬薄膜厚度及其特定元素含量，并針對符合杭州積海半導(dǎo)體(以下簡....
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