合肥國家實(shí)驗(yàn)室超高真空磁控濺射鍍膜系統(tǒng)采購項(xiàng)目單一來源采購公示 一、項(xiàng)目信息 采購人：合肥國家實(shí)驗(yàn)室 項(xiàng)目名稱：合肥國家實(shí)驗(yàn)室超高真空磁控濺射鍍膜系統(tǒng)采購項(xiàng)目 擬采購的貨物或服務(wù)的說明：合肥國家實(shí)驗(yàn)室擬購置一臺超高真空磁控濺射鍍膜系統(tǒng) 擬采購的貨物或服務(wù)的預(yù)算金額：.人民幣 采用單一來源采購方式的原因及說明：高維超導(dǎo)量子比特研究，需要高質(zhì)量的超導(dǎo)量子芯片。超導(dǎo)量子芯片一般包括外電路和約瑟夫森結(jié)，其中外電路可以用很多的材料來制備，包括、、、超導(dǎo)薄膜等。哪種材料是最佳的超導(dǎo)芯片外電路材料，目前還是一個懸而未決的問題。因此，我們需要對各種材料的生長條件、性質(zhì)進(jìn)行探索、測量，從中獲得提升超導(dǎo)量子芯片性能的有利信息。最近的研究表明，高溫下磁控濺射生長的膜對于超導(dǎo)量子芯片的性能有很大的提升。磁控鍍膜系統(tǒng)是一種成熟的制備薄膜的系統(tǒng)，在半導(dǎo)體等研究領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。但由于超導(dǎo)材料對系統(tǒng)的潔凈度、真空度、濺射速率等有很高的要求，低背景真空、差的潔凈度等不利因素，將會嚴(yán)重影響超導(dǎo)薄膜的質(zhì)量，從而影響超導(dǎo)量子芯片的性能，因此，需要專用的高真空磁控鍍膜系統(tǒng)來制備我們高緯度量子芯片所需要的外電路薄膜。 .送樣清洗室： 最高加熱溫度℃的吋樣品臺，控制精度+/-.℃，溫度均勻性%； 離子銑：套霍夫曼離子束刻蝕組件，"均勻性+/-%； 全自動高真空高精度樣品傳輸桿,全自動傳輸樣品,精度.; 極限真空度&;^-。 .濺射室： 單靶槍，英寸金屬密封磁控濺射槍，靶材快拆設(shè)計； 穩(wěn)定工作壓力&;.；工藝氣體流量控制； 樣品與靶間工作距離~吋軟件自動化設(shè)置； 電源； 最高加熱溫度℃的吋樣品臺，控制精度+/-.℃，溫度均勻性%； 超高真空冷泵，極限真空度&;^-； 自控多路冷卻水系統(tǒng)。 目前市場上有不少的磁控濺射系統(tǒng)，用來制備各種薄膜，但用于超導(dǎo)薄膜制備的磁控濺射系統(tǒng)由于對背景真空要求很高，因此，滿足制備超導(dǎo)薄膜制備的磁控濺射鍍膜設(shè)備不是很多。經(jīng)前期廣泛的市場調(diào)研，目前國內(nèi)和我們提出的系統(tǒng)參數(shù)和指標(biāo)一致的只有一家---廈門韞茂科技有限公司，相較于其他供應(yīng)商只有該公司能夠滿足“最高加熱溫度....
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