項目概況 清華大學(xué)"接觸式光刻機采購項目 招標(biāo)項目的潛在投標(biāo)人應(yīng)在登記報名網(wǎng)址：://....獲取招標(biāo)文件，并于年月日 點分（北京時間）前遞交投標(biāo)文件。
一、項目基本情況
項目編號：清設(shè)招第號
項目名稱：清華大學(xué)"接觸式光刻機采購項目
預(yù)算金額：. 萬元（人民幣）
采購需求：
包號
名稱
數(shù)量
是否允許進口產(chǎn)品投標(biāo)
’’接觸式光刻機
套
是
設(shè)備用途介紹 ：
接觸式對準(zhǔn)曝光模塊主要通過紫外曝光的方式，實現(xiàn)微納結(jié)構(gòu)圖形的轉(zhuǎn)換。該模塊還可擴展支持相應(yīng)尺寸的晶圓鍵合對準(zhǔn)工藝，完成晶圓鍵合工藝。該模塊廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體光電器件、微電子器件、傳感器件的制造加工和納米技術(shù)研究。
鍵合模塊能夠?qū)崿F(xiàn)復(fù)雜的芯片堆疊結(jié)構(gòu)，廣泛應(yīng)用于器件、、 、先進封裝、材料制備等。
簡要技術(shù)指標(biāo) ：
）接觸式對準(zhǔn)曝光模塊：支持晶圓尺寸：英寸和英寸；對準(zhǔn)精度：頂部≤±.μ，底部≤±.μ；最小分辨率：≤.μ@真空接觸（英寸晶圓），≤.μ@真空接觸（英寸晶圓）。
）鍵合模塊：支持晶圓尺寸：英寸；腔體結(jié)構(gòu)：采用符合人體工程學(xué)要求的腔體上開蓋設(shè)計，鍵合腔體可以完整打開或半開，無須使用機械傳輸工具，預(yù)對準(zhǔn)后的晶圓組可方便的通過夾持工具直接放入鍵合腔中進行鍵合，方便腔體清潔及不同壓盤的切換，提高使用效率。
合同履行期限：合同簽訂后個月內(nèi)完成設(shè)備交貨。
本項目(不接受 )聯(lián)合體投標(biāo)。
二、申請人的資格要求：
.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定；
.落實政府采購政策需滿足的資格要求：
需要落實的政府采購政策：扶持小微企業(yè)、監(jiān)獄企業(yè)、殘疾人福利性企業(yè)發(fā)展，優(yōu)先采購節(jié)能產(chǎn)品、環(huán)境標(biāo)志產(chǎn)品等。
.本項目的特定資格要求：）在中華人民共和國境內(nèi)注冊；）符合《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定的條件；）通過“信用中國”網(wǎng)站（...）和中國政府采購網(wǎng)（......
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