項目概況 清華大學"深硅刻蝕機采購項目 招標項目的潛在投標人應在登記報名網(wǎng)址:://....獲取招標文件,并于年月日 點分(北京時間)前遞交投標文件。 一、項目基本情況 項目編號:清設招第號 項目名稱:清華大學"深硅刻蝕機采購項目 預算金額:. 萬元(人民幣) 采購需求: 包號 名稱 數(shù)量 是否允許進口產(chǎn)品投標 "深硅刻蝕機 套 是 設備用途介紹 : 主要用于處理英寸及以下、、、石英材料,相同硬件兼容小尺寸深槽或者深孔刻蝕、硅通孔刻蝕工藝。 簡要技術指標 :)本底真空<.;)靜電卡盤 ,包含可更換為配置;下電極控溫范圍涵蓋-~℃;下電極控溫精度±℃;)等離子系統(tǒng):功率不低于;下電極功率不低于;)工藝氣體控制:提供、、、等至少路工藝氣體,獨立和閥門控制。 合同履行期限:合同簽訂后個月內完成設備交貨 本項目(不接受 )聯(lián)合體投標。 二、申請人的資格要求: .滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定; .落實政府采購政策需滿足的資格要求: 扶持小微企業(yè)、監(jiān)獄企業(yè)、殘疾人福利性企業(yè)發(fā)展,優(yōu)先采購節(jié)能產(chǎn)品、環(huán)境標志產(chǎn)品等。 .本項目的特定資格要求:)在中華人民共和國境內注冊;)符合《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定的條件;)通過“信用中國”網(wǎng)站(...)和中國政府采購網(wǎng)(...)查詢信用記錄(截止時點為投標截止時間),被列入失信被執(zhí)行人、重大稅收違法案件當事人名單、政府采購嚴重違法失信行為記錄名單的供應商,沒有資格參加本項目的采購活動;)單位負責人為同一人或者存在直接控股、管理關系的不同供應商,不得同時參加同一包號的政府采購活動;)為某一包號提供整體設計、規(guī)范編制或者項目管理、監(jiān)理、檢測等服務的供應商,不得再參加該包....
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