項目概況 清華大學硅刻蝕系統(tǒng)采購項目 招標項目的潛在投標人應在://...獲取招標文件，并于年月日 點分（北京時間）前遞交投標文件。 一、項目基本情況 項目編號：清設(shè)招第號（） 項目名稱：清華大學硅刻蝕系統(tǒng)采購項目 預算金額：. 萬元（人民幣） 采購需求： （）本次招標共包： 包號 招標內(nèi)容 數(shù)量 簡要技術(shù)要求 硅刻蝕系統(tǒng) 套 詳見采購需求 本次招標、投標、評標均以包為單位，投標人須以包為單位進行投標，如有多包，可投一包或多包，但不得將一包中的內(nèi)容拆分投標，不完整的投標將被拒絕。具體招標內(nèi)容和要求，以本招標文件中商務、技術(shù)和服務的相應規(guī)定為準。 （）本項目不接受進口產(chǎn)品投標。 （）本項目為非專門面向中小企業(yè)采購的項目。 （）用途：深硅刻蝕腔體（/寸）搭載高效射頻等離子體處理模塊，采用包括高密度等離子體源、脈沖氣體切換、高速射頻匹配、高效率氣體泵浦以及快速采樣分析系統(tǒng)等特點，可實現(xiàn)對晶圓材料諸多微結(jié)構(gòu)加工工藝，特別是傳感器的深硅刻蝕工藝的高效率處理。介質(zhì)刻蝕腔體（寸）搭載高效射頻等離子體處理模塊，采用包括雙頻等離子體源、高速射頻匹配以及快速采樣分析系統(tǒng)等特點，可實現(xiàn)對晶圓材料諸多微結(jié)構(gòu)加工工藝，特別是傳感器的介質(zhì)刻蝕工藝的高效率處理。 合同履行期限：合同簽訂后個月內(nèi)完成設(shè)備交貨、安裝及調(diào)試工作 本項目(不接受 )聯(lián)合體投標。 二、申請人的資格要求： .滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定； .落實政府采購政策需滿足的資格要求： 通過“信用中國”網(wǎng)站（...）和中國政府采購網(wǎng)（...）查詢信用記錄，被列入失信被執(zhí)行人、重大稅收違法案件當事人名單或政府采購嚴重違法失信行為記錄名單的供應商，沒有資格參加本項目的采購活動。 .本項目的特定資格要求：（）本次投標不接受聯(lián)合體投標；（）按照招標公告要求獲取招....
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