山東省魯成招標有限公司受山東大學 委托，根據(jù)《中華人民共和國政府采購法》等有關規(guī)定，現(xiàn)對山東大學高溫高能離子注入機采購單一來源采購公示進行其他招標，歡迎合格的供應商前來投標。 項目名稱：山東大學高溫高能離子注入機采購單一來源采購公示 項目編號：--- 項目聯(lián)系方式： 項目聯(lián)系人：王青東 項目聯(lián)系電話： 采購單位聯(lián)系方式： 采購單位：山東大學 采購單位地址：山東大學中心校區(qū)明德樓 采購單位聯(lián)系方式：- 代理機構(gòu)聯(lián)系方式： 代理機構(gòu)：山東省魯成招標有限公司 代理機構(gòu)聯(lián)系人：王青東- 代理機構(gòu)地址： 濟南市經(jīng)十東路號成城大廈座 一、采購項目內(nèi)容 一）、項目信息 采購人：山東大學 項目名稱：山東大學高溫高能離子注入機采購 擬采購的貨物或服務的說明：離子注入是對半導體表面附近區(qū)域進行摻雜的技術，可改變半導體的載流子濃度和導電類型，且在注入劑量、注入角度、注入深度、橫向擴散等方面進行精確的控制。該離子注入設備可實現(xiàn)、、、等元素摻雜，注入劑量范圍～ /，注入不均勻性片內(nèi)≤±.%/片間≤±.%，單電荷最高加速電壓為 ，束流發(fā)散角度≤.°（@英寸）。 擬采購的貨物或服務的預算金額：萬元 采用單一來源采購方式的原因及說明：需離子注入設備提供單價離子加速電壓- ，二價離子可達 三價離子可達. 。最大束流：≥ μ@ ，束流平行度≤±.°（@ ″），注入劑量～ /；測試精度：≦±.%；注入不均勻性：片內(nèi)≤±.%，片間≤±.%。具備成熟的反轉(zhuǎn)靜電吸附設計，同一設備可兼具對應高溫℃以上注入工藝和常溫注入工藝，工藝切換時間不得大于分鐘；提供能抑制離子束的發(fā)散、能進行精細的掃描波形的控制，可得到約°的大的掃描角的離子注入裝置。其他品牌產(chǎn)品不能同時滿足單價離子加速電壓最高、高低溫工藝切換時間不得大于分鐘、°掃描角的使用技術要求，因此只能采購進口產(chǎn)品。 二）、擬定供應商信息 名稱：蘇州科銳芯機電科技有限公司 地址：蘇州吳中經(jīng)濟開發(fā)區(qū)城南街道東吳....
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