一、項(xiàng)目信息
采購人：山東大學(xué)
項(xiàng)目名稱：山東大學(xué)高溫高能離子注入機(jī)采購
擬采購的貨物或服務(wù)的說明：離子注入是對(duì)半導(dǎo)體表面附近區(qū)域進(jìn)行摻雜的技術(shù)，可改變半導(dǎo)體的載流子濃度和導(dǎo)電類型，且在注入劑量、注入角度、注入深度、橫向擴(kuò)散等方面進(jìn)行精確的控制。該離子注入設(shè)備可實(shí)現(xiàn)、、、等元素?fù)诫s，注入劑量范圍～ /，注入不均勻性片內(nèi)≤±.%/片間≤±.%，單電荷最高加速電壓為 ，束流發(fā)散角度≤.°（@英寸）。
擬采購的貨物或服務(wù)的預(yù)算金額：萬元
采用單一來源采購方式的原因及說明：需離子注入設(shè)備提供單價(jià)離子加速電壓- ，二價(jià)離子可達(dá) 三價(jià)離子可達(dá). 。最大束流：≥ μ@ ，束流平行度≤±.°（@ ″），注入劑量～ /；測(cè)試精度：≦±.%；注入不均勻性：片內(nèi)≤±.%，片間≤±.%。具備成熟的反轉(zhuǎn)靜電吸附設(shè)計(jì)，同一設(shè)備可兼具對(duì)應(yīng)高溫℃以上注入工藝和常溫注入工藝，工藝切換時(shí)間不得大于分鐘；提供能抑制離子束的發(fā)散、能進(jìn)行精細(xì)的掃描波形的控制，可得到約°的大的掃描角的離子注入裝置。其他品牌產(chǎn)品不能同時(shí)滿足單價(jià)離子加速電壓最高、高低溫工藝切換時(shí)間不得大于分鐘、°掃描角的使用技術(shù)要求，因此只能采購進(jìn)口產(chǎn)品。
二、擬定供應(yīng)商信息
名稱：蘇州科銳芯機(jī)電科技有限公司
地址：蘇州吳中經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)城南街道東吳南路號(hào)幢室
三、公示期限
年月日至年月日（公示期限不得少于個(gè)工作日）
四、其他補(bǔ)充事宜：無
五、聯(lián)系方式
.采購人：山東大學(xué)
聯(lián) 系 人：田主任
聯(lián)系地址：山東大學(xué)中心校區(qū)明德樓
聯(lián)系電話：-
.采購代理機(jī)構(gòu)：山東省魯成招標(biāo)有限公司
聯(lián) 系 人： 王青東
聯(lián)系地址：濟(jì)南市經(jīng)十東路號(hào)成城大廈座
聯(lián)系電話：-
發(fā)布媒體:
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