納米級裂片機
招標(biāo)公告
日 期:年 月 日
招標(biāo)編號:-
項目名稱:納米級裂片機
中國遠東國際招標(biāo)有限公司受重慶芯聯(lián)微電子有限公司委托對下列產(chǎn)品及服務(wù)進行國際公開競爭性招標(biāo),于年 月 日發(fā)布招標(biāo)公告。本次招標(biāo)采用國際公開招標(biāo)方式。
招標(biāo)條件
. 項目概況:納米級裂片機臺,全新。
. 資金到位或資金來源落實情況:已落實。
. 項目已具備招標(biāo)條件的說明:已具備。
招標(biāo)內(nèi)容
.交貨地點:重慶芯聯(lián)微電子有限公司
.用途說明:在晶圓制造過程中,需要對特定測試結(jié)構(gòu)做定點橫截面分析??紤]機械研磨可能引入的沾污,需要具有納米級精度的裂片機械,來保證對亞微米級測試結(jié)構(gòu)的直接裂解。裂片系統(tǒng)通過兩步過程:刻痕和斷裂,來制備納米級高質(zhì)量截面:
首先在樣品目標(biāo)的邊緣位置以高精度刻劃出劃痕;然后以這個邊緣劃痕為中心引導(dǎo)機械進行沖擊,使得裂紋從劃痕位置沿晶體的正交向量裂開并精準(zhǔn)的通過裂解位置標(biāo)記點, 從而完成晶片的完整裂解。
工藝研發(fā),生產(chǎn)中,需要通過機械裂解的形式,快速,精確的制備納米級定點截面樣品,裂解精度達到.;高精度裂解單樣品制備時間不超過分鐘。。
. 交貨時間:合同生效后天。
投標(biāo)人資格要求
. 投標(biāo)人具有獨立法人資格,提供有效的營業(yè)登記等許可經(jīng)營的證明文件。
.本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo),代理商必須獲得制造商的合法授權(quán),提供制造商授權(quán)書。
. 投標(biāo)人或投標(biāo)貨物的制造商須具備向家以上中國大陸英寸集成電路制造企業(yè)提供納米級裂片機設(shè)備,且在先進制程節(jié)點(納米及以下)供貨和安裝調(diào)試不低于臺實績(需要提供業(yè)績合同或驗收證明復(fù)印件作為證明材料)。
.本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
.投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機構(gòu)購買招標(biāo)文件并進行登記才具有投標(biāo)資格;接受委托參與項目前期咨詢和招標(biāo)文件編制的法人或其他組織不得參加投標(biāo)。
招標(biāo)文件的獲?。?
. 招標(biāo)文件領(lǐng)購開始時間:年 月 日
. 招標(biāo)文件領(lǐng)購結(jié)束時間:年 月 日
. 是否在線售賣標(biāo)書:否
. 獲取招標(biāo)文件方式:現(xiàn)場領(lǐng)購
. 招標(biāo)文件領(lǐng)購地點:重慶市江北區(qū)五里店嘉景園座-
. 招標(biāo)文件售價:人民幣/套....
快捷閱讀