項目概況 原子層刻蝕系統(tǒng) 招標項目的潛在投標人應在華采招標集團有限公司（北京市豐臺區(qū)廣安路號國投財富廣場號樓室）獲取招標文件，并于年月日 點分（北京時間）前遞交投標文件。 一、項目基本情況 項目編號：-- 項目名稱：原子層刻蝕系統(tǒng) 預算金額：. 萬元（人民幣） 采購需求： 碳基柵疊層項目是為推動碳基芯片的發(fā)展而設立，針對碳納米管襯底的半導體器件，由于碳納米管直徑在幾個納米的范圍，在等離子的轟擊下很容易被破壞，感應耦合原子層刻蝕系統(tǒng)憑借低離子損傷，高精度的刻蝕速率控制，最大程度上減小柵介質(zhì)刻蝕過程對碳納米管的損傷。利用原子層沉積的模式精確地控制對介質(zhì)的刻蝕速率，對氧化鉿、氧化鋁和氧化釔介質(zhì)薄膜的刻蝕速率達到小于/,實現(xiàn)對高柵介質(zhì)的高精度刻蝕,推動碳基集成電路的發(fā)展。具體詳見招標文件第四章采購需求。 合同履行期限：合同簽訂后天交貨并安裝完畢 本項目(不接受 )聯(lián)合體投標。 二、申請人的資格要求： .滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定； .落實政府采購政策需滿足的資格要求： 無 .本項目的特定資格要求：()投標人必須為投標文件遞交截止之日前未被列入“信用中國”網(wǎng)站（...）、中國政府采購網(wǎng)（...）信用記錄失信被執(zhí)行人、重大稅收違法失信主體、政府采購嚴重違法失信行為記錄名單的；()不同投標人的法人、單位負責人不是同一人也不存在直接控股、管理關系；()投標人必須向采購代理機構購買招標文件并登記備案，未向采購代理機構購買招標文件并登記備案的無資格參加本次投標；()本項目不接受聯(lián)合體投標；()本項目接受進口產(chǎn)品；()本項目非專門面向中小企業(yè)。 三、獲取招標文件 時間：年月日 至年月日，每天上午:至:，下午:至:。（北京時間，法定節(jié)假日除外） 地點：華采招標集團有限公司（北京市豐臺區(qū)廣安路號國投財富廣場號樓室） 方式：現(xiàn)場獲取，攜帶現(xiàn)金，招標文件售后不退 售價：￥. 元，本公告包含的招標文件....