租賃設(shè)備的性能指標要求 高穩(wěn)定性的設(shè)備是外延工藝規(guī)律摸索和優(yōu)化的基礎(chǔ)，主要要求如下：高工作溫度與轉(zhuǎn)換效率的能帶設(shè)計--層厚亞埃級精度要求，原子級表面粗糙度，％以內(nèi)精度的組分的要求 高精度的組分與厚度控制要求---小時內(nèi)＜％的束流波動 高失配體系的應(yīng)變平衡控制，多組分材料的工藝重疊窗口很窄，溫度均勻性小于℃； 面內(nèi)束流、溫度的均勻性小于％ 高速、高可靠的源爐擋板：每片上千次開關(guān)，-開關(guān)速度。信息來源