項目概況 東南大學微納平臺-集成刻蝕系統(tǒng)采購項目 招標項目的潛在投標人應在交易平臺網(wǎng)址為：://..獲取招標文件，并于年月日 點分（北京時間）前遞交投標文件。 一、項目基本情況 項目編號： 項目名稱：東南大學微納平臺-集成刻蝕系統(tǒng)采購項目 預算金額：. 萬元（人民幣） 最高限價（如有）：. 萬元（人民幣） 采購需求： 項目地點：東南大學無錫校區(qū) 項目概況：微納平臺采購-集成刻蝕系統(tǒng)套，主要技術要求如下： （一）工藝腔室配置 . 反應腔室獨立模塊化設計，方便維護與保養(yǎng) . 作業(yè)溫度范圍可覆蓋-~ ℃，溫度控制±. ℃，可實現(xiàn)深硅刻蝕工藝，可實現(xiàn)、等多種半導體材料可控原子層刻蝕工藝 . 傳送模塊配備高精度晶圓位置傳感器，可兼容/寸晶圓 （二）供氣與真空系統(tǒng) . 配備高速響應，響應速度&; ，實現(xiàn)精準控制短脈沖式刻蝕工藝中的工藝氣體通入流量與時長 . 機械泵抽速不小于 /，配備分子泵，腔室極限壓力小于×-，真空漏率小于 / . 配備高精度壓力傳感器，可實時檢測腔室壓力，檢測范圍覆蓋~ （三）射頻等離子體系統(tǒng) 配置高功率脈沖射頻電源，頻率可調；最大功率不低于，最小功率不高于 ，調節(jié)分辨率優(yōu)于. ；配備偏壓射頻源，最大功率不小于，最小功率不高于 ，調節(jié)分辨率優(yōu)于. 。 不接受進口產(chǎn)品投標，技術參數(shù)詳見招標文件。 行業(yè)劃分：工業(yè) 本項目(非專門)面向中小企業(yè)采購。 本項目(非專門)面向監(jiān)獄企業(yè)來購。 本項目(非專門)面向殘疾人福利性單位采購。 合同履行期限：合同簽訂后天內設備安裝調試合格。 本項目(不接受 )聯(lián)合體投標。 二、申請人的資格要求： .滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定； .落實政府采購政策需滿足的資格要求： .滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定； （）具有獨立承擔民事責任的能力....