項目概況 東南大學集成電路學院高溫化學氣相沉積外延爐采購項目的潛在投標人應在交易平臺(://..)獲取招標文件,并于年月日點分(北京時間)前遞交投標文件。 一、項目基本情況 .項目編號: .項目名稱:東南大學集成電路學院高溫化學氣相沉積外延爐采購項目 .預算金額:萬元 .最高限價:萬元 .采購需求: 項目地點:東南大學無錫校區(qū) 項目概況:集成電路學院采購高溫化學氣相沉積外延爐套,主要技術要求如下: ()高溫化學氣相沉積外延爐一臺,需同時實現(xiàn)型碳化硅外延生長和型碳化硅外延生長及其他氣相沉積工藝;采用單腔傳片的水平式或垂直式結構;允許最大晶圓尺寸英寸,并可向下兼容寸整晶圓; ()工藝反應氣體包括/、,工藝載氣,摻雜源包括和; ()設備需同時具備型和型碳化硅外延生長能力,并且提供型碳化硅外延生長相關的腔體及配件,和型碳化硅外延生長相關的腔體及配件,以及按照至少的外延生長厚度備件; ()需將設備搬運至指定地點,完成卸貨、搬入實驗室,并且提供設備在二次配過程中的必需物件及調(diào)試設備,所有二次配費用包含在總報價中。 不接受進口產(chǎn)品投標,技術參數(shù)詳見招標文件。 .合同履行期限:合同簽訂后個月設備安裝調(diào)試合格。 .行業(yè)劃分:工業(yè) . 本項目(非專門)面向中小企業(yè)采購。 . 本項目(非專門)面向監(jiān)獄企業(yè)來購。 . 本項目 (非專門)面向殘疾人福利性單位采購。 . 本項目不接受聯(lián)合體投標。 二、申請人的資格要求 .滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定; ()具有獨立承擔民事責任的能力(提供法人或者其他組織的營業(yè)執(zhí)照;供應商為自然人的,提供其身份證); ()具有良好的商業(yè)信譽和健全的財務會計制度(提供年度的財務報告,或投標截止時間前六個月內(nèi)銀行出具的資信證明); ()具有履行合同所必需的設備和專業(yè)技術能力(供應商根據(jù)履行采購項目合同需要,提供履行合同所必需的設備和專業(yè)技術能力的證明材料); ()有依法繳納稅收和社會保障資金的良好記錄(提供參加本次政府采購活動前半年內(nèi)至....
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