一、項目基本信息、項目編號:--、項目名稱:科研用刻蝕、沉積與高溫爐式設備配套備件及耗材采購項目、采購方式:定向采購、項目需求:刻蝕、沉積與高溫爐式設備配套備件及耗材批,詳見附件。二、申請理由及依據、申請理由:我校微納系統制造中央實驗室(實驗室)前期因日常科研需要,采購有批刻蝕、沉積與高溫爐式設備(品牌:)?,F為了滿足日??蒲惺褂靡约霸O備持續(xù)運轉需求,現需采購一批配套備件及耗材,用于定期更換和維護,確保原有設備的持續(xù)穩(wěn)定運行,減少設備停機時間。具體內容包括:()耗材:包括各類密封圈、倒片裝置、反應腔室觀察窗、高效過濾器等。()易損件:包括靜電卡盤、加熱器、各類下電極防護環(huán)、支撐環(huán)、隔熱板等。()關鍵部件備用件。()反應腔室清洗套件備件:包括內襯、陶瓷蓋、聚焦環(huán)等。我校已購置的刻蝕、沉積與高溫爐式設備是制造商北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司(以下稱“北方華創(chuàng)公司”)生產的專用設備,本次擬采購的備件、耗材須與該設備配套使用。經市場調研,該設備與其備件、耗材只有彼此相匹配才能正常使用,同時還須由原廠進行專業(yè)維護及更換,才可最大限度地保證設備的性能,進而確保實驗數據的穩(wěn)定性和系統兼容性,以達到最好的使用效果。同時,原廠不接受未經授權自行從第三方購買的配件并安裝使用;如出現因未授權的第三方備件的使用而導致設備運行不穩(wěn)定、不配套甚至導致其他部件損壞或工藝結果異常,原廠拒絕恢復設備至正常狀態(tài)。因此,只有北方華創(chuàng)公司生產的備件及耗材、以及由北方華創(chuàng)公司提供的與原設備關鍵部件功能一致的備件,才能唯一滿足本項目需求。綜上所述,本項目擬以定向采購的方式向“北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司”采購本項目的刻蝕、沉積與高溫爐式設備配套備件及耗材。、申請依據:本項目符合《香港科技大學(廣州)采購管理制度》第章定向采購使用范圍中第()點“須由指定單位對專利或特殊設備進行維護或合同條款規(guī)定相關工作須由特定單位進行”的情形。三、擬定供應商、供應商名稱:北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司;地址:廣東省廣州市科學大道號芯大廈棟室四、公示期限自本公告發(fā)布之日個工作日五、采購人聯系方式聯系人:林老師聯系電話:-聯系郵箱:@-..香港科技大學(廣州....
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