大面積表面高能涂層及掃描系統(tǒng) 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 上海交通大學(xué)年月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 上海交通大學(xué) 采購(gòu)項(xiàng)目名稱： 大面積表面高能涂層及掃描系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購(gòu)品目： 金屬表面處理設(shè)備 采購(gòu)需求概況 ： 大面積表面高能涂層及掃描系統(tǒng) 主要技術(shù)指標(biāo)： . 均勻有效涂層空間：直徑，高度； . 配置口徑磁懸浮渦輪分子泵套，抽速不小于/; . 配置彎管磁過濾陰極電弧套，靶材直徑； . 配置射頻英寸圓形磁控濺射靶套，功率， .； . 配置高功率脈沖英寸圓形磁控濺射靶套，功率，峰值電流； . 配置直流英寸磁控濺射靶套，功率； . 配置陽極層離子源套，功率； . 加熱溫度最高可達(dá)℃； 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。