掩模圖形缺陷修復(fù)設(shè)備 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所年至月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所 采購(gòu)項(xiàng)目名稱： 掩模圖形缺陷修復(fù)設(shè)備 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購(gòu)品目： 工藝試驗(yàn)機(jī) 采購(gòu)需求概況 ： 該設(shè)備主要用于掩模圖形缺陷的修復(fù)，通過聚焦離子束的物理刻蝕或輔助沉積，實(shí)現(xiàn)掩模圖形缺陷的定點(diǎn)減材或增材修復(fù)。 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。