原子層刻蝕系統(tǒng) 項目所在采購意向： 北京大學(xué)年月政府采購意向 采購單位： 北京大學(xué) 采購項目名稱： 原子層刻蝕系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購需求概況 ： 碳基柵疊層項目是為推動碳基芯片的發(fā)展而設(shè)立，針對碳納米管襯底的半導(dǎo)體器件，由于碳納米管直徑在幾個納米的范圍，在等離子的轟擊下很容易被破壞，感應(yīng)耦合原子層刻蝕系統(tǒng)憑借低離子損傷，高精度的刻蝕速率控制，最大程度上減小柵介質(zhì)刻蝕過程對碳納米管的損傷。利用原子層沉積的模式精確地控制對介質(zhì)的刻蝕速率，對氧化鉿、氧化鋁和氧化釔介質(zhì)薄膜的刻蝕速率達到小于/,實現(xiàn)對高柵介質(zhì)的高精度刻蝕,推動碳基集成電路的發(fā)展。 預(yù)計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準。