產(chǎn)教融合創(chuàng)新平臺-下一代分子診斷中心-真空等離子鍵合儀采購 項目所在采購意向： 四川大學(xué)年月政府采購意向 采購單位： 四川大學(xué) 采購項目名稱： 產(chǎn)教融合創(chuàng)新平臺-下一代分子診斷中心-真空等離子鍵合儀采購 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 貨物,設(shè)備,電工、電子生產(chǎn)設(shè)備,電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購需求概況 ： 真空等離子鍵合儀臺： 腔體：**,進(jìn)口電源德國,全自動匹配器：,，愛德華的干泵、真空度以下，愛德華真空計、英國沃威流量計-;西門子橫電極多層、路工藝氣體。 真空等離子鍵合儀是加熱玻璃和金屬（或者半導(dǎo)體）所組成的三明治結(jié)構(gòu)，并且在此結(jié)構(gòu)的兩端施加直流電壓。應(yīng)用中最典型的鍵合材料是玻璃襯底和型硅襯底。具體的鍵合工藝方法有陽極鍵合、硅硅鍵合、金屬共晶鍵合、熱壓鍵合等等，主要用途是通過層疊襯底和硅片，產(chǎn)生立體的三維結(jié)構(gòu)，以達(dá)到利用器件三維空間增加集成度或制造三維微型機(jī)械結(jié)構(gòu)的目的。還可以實現(xiàn)微電子材料、光電材料及其納米等級微機(jī)電元件的電氣互聯(lián)、功能集成和器件封裝。設(shè)備功能多樣化且需要配置靈活，結(jié)構(gòu)緊湊，可以多種功能于一體來實現(xiàn)不同工藝需求，設(shè)備指標(biāo)領(lǐng)先，技術(shù)成熟，質(zhì)量可靠，無環(huán)境風(fēng)險，無安全風(fēng)險。 預(yù)計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。