白光干涉儀采購項(xiàng)目 項(xiàng)目所在采購意向： 中國科學(xué)院深?？茖W(xué)與工程研究所年月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院深?？茖W(xué)與工程研究所 采購項(xiàng)目名稱： 白光干涉儀采購項(xiàng)目 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 光學(xué)測試儀器 采購需求概況 ： 為深海地質(zhì)地球化學(xué)、深海極端環(huán)境模擬、深海生物學(xué)、海洋科學(xué)與技術(shù)等學(xué)科提供設(shè)備支撐，主要涉及研究領(lǐng)域有：深海高壓環(huán)境下材料微觀形貌形成機(jī)理與表征、深海深淵微納器件性能與結(jié)構(gòu)的影響機(jī)制、深海探測傳感器制造新方法與原理、深海深淵探測傳感器的柔性封裝技術(shù)研究等。該設(shè)備性能指標(biāo)要求如下： ）垂直測量范圍：.納米-毫米； ）垂直分辨率：.納米； ） 重現(xiàn)性：.納米； ）垂直掃描速度：可達(dá)微米/秒； ）橫向分辨率：.至.微米； ）具備深孔和深槽測量能力，可測量:高深比的孔和:高深比的槽，提供軟件界面截圖，軟件界面需同時(shí)顯示三維輪廓圖、剖面二維圖、實(shí)測數(shù)據(jù)作為證明資料 ）具備微凸結(jié)構(gòu)共面性高通量測試能力，提供軟件界面截圖，需同時(shí)顯示三維輪廓圖、剖面二維圖、實(shí)測數(shù)據(jù)作為證明資料等 預(yù)計(jì)采購時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。