為便于供應(yīng)商及時(shí)了解政府采購(gòu)信息,根據(jù)《河南省財(cái)政廳關(guān)于開(kāi)展政府采購(gòu)意向公開(kāi)工作的通知》(豫財(cái)購(gòu)【】號(hào))等有關(guān)規(guī)定,現(xiàn)將鄭州大學(xué) 年(至)月采購(gòu)意向公開(kāi)如下: 序號(hào) 采購(gòu)單位名稱(chēng) 采購(gòu)項(xiàng)目名稱(chēng) 采購(gòu)需求概況 預(yù)算金額(萬(wàn)元) 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間 備注 鄭州大學(xué) 鄭州大學(xué)化工學(xué)院原子層沉積設(shè)備采購(gòu)項(xiàng)目 臺(tái)式 系 統(tǒng),在小巧的機(jī)身( ) 中集成了原子層沉積 所需的所有功能,可最多容納 片 英寸基片同時(shí)沉積。 全系配備熱壁,結(jié)合前驅(qū)體瓶加熱,管路加熱, 橫向噴頭等設(shè)計(jì),使溫度均勻性高達(dá).%,氣流對(duì)溫度影 響減少到.% 以下。這種高溫度穩(wěn)定性的設(shè)計(jì)不僅可以 在 英寸基體上實(shí)現(xiàn)膜厚均勻性?xún)?yōu)于%,而且更適合對(duì) 粉體、納米顆粒、復(fù)雜 微納結(jié)構(gòu)進(jìn)行均勻薄膜沉積,還 可實(shí)現(xiàn)對(duì) : 長(zhǎng)徑比微納深孔內(nèi)部的均勻沉積。 . 年月 本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排,具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。 鄭州大學(xué) 年月日
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