反應(yīng)離子刻蝕機(jī) 項目所在采購意向： 中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所年月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所 采購項目名稱： 反應(yīng)離子刻蝕機(jī) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 工藝試驗機(jī) 采購需求概況 ： 反應(yīng)離子刻蝕機(jī)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件、電力電子器件、光電子、太陽能電池、微機(jī)械等領(lǐng)域。是微米納米器件制備的必備設(shè)備。隨著大規(guī)模集成電路制造朝著更高集成度、更小關(guān)鍵尺寸以及更大晶圓半徑的方向發(fā)展，對刻蝕工藝的精度要求越來越高，所以濕法刻蝕的圖形保真性不理想、刻蝕線寬難以控制、表面粗糙等不適用于小尺寸器件刻蝕工藝，而刻蝕具有很好的各向同性，可以加工更加精密的器件，能夠保證細(xì)小圖形轉(zhuǎn)移后的保真性，同時根據(jù)不同工藝要求，通過改變刻蝕氣體比例、真空室內(nèi)部壓強(qiáng)、射頻功率、溫度等能夠很好的控制側(cè)壁的粗糙度、陡直度、刻蝕速率等，因此，刻蝕機(jī)對微納器件制備至關(guān)重要。 預(yù)計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。