原子層沉積設(shè)備 項目所在采購意向： 中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所 采購項目名稱： 原子層沉積設(shè)備 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 其他儀器儀表 采購需求概況 ： 襯底尺寸和類型:英寸/單片, 復(fù)雜表面襯底；工藝溫度:-℃可調(diào)；預(yù)真空室預(yù)留設(shè)備前端模塊()接口,樣品在生長室、預(yù)真空室和設(shè)備前端模塊之間自動傳輸；.前驅(qū)體:配置路源，其中路可加熱 。 預(yù)計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準。