等離子化學氣相沉積 項目所在采購意向： 北京大學年月政府采購意向 采購單位： 北京大學 采購項目名稱： 等離子化學氣相沉積 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 集成電路參數(shù)測量儀 采購需求概況 ： 主要適用于英寸及向下兼容的等離子體化學氣相沉積薄膜加工工藝，被廣泛應用于制造光電子芯片、芯片、微納結(jié)構(gòu)、光學器件等，是研究微納光子學和片上光電集成器件制備的必須設備 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。