原子層沉積 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 清華大學(xué)年至月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 清華大學(xué) 采購(gòu)項(xiàng)目名稱： 原子層沉積 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購(gòu)品目： -貨物_-設(shè)備_-儀器儀表_-試驗(yàn)儀器及裝置_-其他試驗(yàn)儀器及裝置 采購(gòu)需求概況 ： 采購(gòu)需求概況應(yīng)當(dāng)包括： .采購(gòu)標(biāo)的名稱：原子層沉積 .采購(gòu)標(biāo)的需實(shí)現(xiàn)的主要功能或者目標(biāo)：英寸向下兼容，氧化物、氮化物單質(zhì)等材料的薄膜沉積 .采購(gòu)標(biāo)的數(shù)量： .采購(gòu)標(biāo)的需滿足的質(zhì)量、服務(wù)、安全、時(shí)限等要求：質(zhì)保期至少年。售后服務(wù)響應(yīng)不超過小時(shí)（不區(qū)分工作日和節(jié)假日） 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。