設(shè)備轉(zhuǎn)接系統(tǒng) 項(xiàng)目所在采購意向： 中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所 采購項(xiàng)目名稱： 設(shè)備轉(zhuǎn)接系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 真空應(yīng)用設(shè)備 采購需求概況 ： 設(shè)備轉(zhuǎn)接系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)工藝設(shè)備對(duì)接到超高真空管道上的過渡設(shè)備，具有真空環(huán)境過渡和樣品傳輸?shù)裙δ?，要?shí)現(xiàn)的功能和技術(shù)指標(biāo)如下： 、極限真空：≤×- ，真空檢漏漏率：≤×- ./。 、實(shí)現(xiàn)原設(shè)備與超高真空管道真空環(huán)境過渡，若設(shè)備對(duì)接腔體極限真空度≥.×- ，轉(zhuǎn)接系統(tǒng)必須配置極限真空度≤.×- 的過渡腔體，并用插板閥隔斷超高真空腔體，并保證設(shè)備與轉(zhuǎn)接系統(tǒng)交換完樣品后，分鐘內(nèi)過渡室腔體真空度恢復(fù)到≤×- ； 、 實(shí)現(xiàn)設(shè)備與管道之間樣品交換，交接位處樣品交接準(zhǔn)確、閥門開啟靈活； 、傳輸樣品尺寸：英寸晶圓或者帶有小樣品的英寸圓形過渡托； 、實(shí)現(xiàn)英寸晶圓樣品翻面功能（晶圓樣品厚度為.~），并能實(shí)現(xiàn)樣品取下和安放到自帶圓環(huán)樣品托上。 、實(shí)現(xiàn)管道與轉(zhuǎn)接系統(tǒng)之間自動(dòng)化樣品交接， 控制系統(tǒng)與管道的控制系統(tǒng)兼容，以及在總控系統(tǒng)、支線控制系統(tǒng)和單元控制系統(tǒng)上，實(shí)現(xiàn)三級(jí)人機(jī)交互界面上顯示和操控； 、配置必要的觀察窗、照明和烘烤帶； 、各個(gè)標(biāo)準(zhǔn)法蘭與現(xiàn)有的真空管道法蘭外觀一致。 預(yù)計(jì)采購時(shí)間： - 備注： 以實(shí)際公告為準(zhǔn) 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。