--離子束輔助沉積 項目所在采購意向： 中國科學(xué)院電工研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院電工研究所 采購項目名稱： --離子束輔助沉積 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購需求概況 ： --離子束輔助沉積設(shè)備通過離子碰撞讓晶體擇優(yōu)取向來獲得雙軸織構(gòu)氧化物薄膜，形成最初的取向。在長帶研究中用于在多晶金屬基帶上生長雙軸織構(gòu)的層，為后續(xù)超導(dǎo)層提供雙軸織構(gòu)模板。設(shè)備主要包括：卷繞系統(tǒng)、大尺寸靶材系統(tǒng)(×)、濺射離子源和輔助離子源系統(tǒng)、靶材冷卻系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等。 預(yù)計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。