深硅刻蝕機(jī)（） 項(xiàng)目所在采購意向： 重慶大學(xué)年月政府采購意向 采購單位： 重慶大學(xué) 采購項(xiàng)目名稱： 深硅刻蝕機(jī)（） 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購需求概況 ： 未來芯片研究與試驗(yàn)測試平臺(tái)采購深硅刻蝕機(jī)套。該設(shè)備主要采用工藝進(jìn)行深硅刻蝕，在硅晶圓片上實(shí)現(xiàn)高深寬比、高刻蝕速率、高選擇比的干法刻蝕。 預(yù)計(jì)采購時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。