為便于供應(yīng)商及時(shí)了解政府采購信息,根據(jù)《財(cái)政部關(guān)于開展政府采購意向公開工作的通知》(財(cái)庫〔〕號)等有關(guān)規(guī)定,現(xiàn)將本單位年月至年月采購意向公開如下: 序號 采購項(xiàng)目名稱 采購需求概況 落實(shí)政府采購政策情況 預(yù)算金額(元) 預(yù)計(jì)采購時(shí)間 備注 華南師范大學(xué)物理學(xué)院采購電子束蒸發(fā)系統(tǒng)項(xiàng)目 標(biāo)的名稱:電子束蒸發(fā)系統(tǒng) 標(biāo)的數(shù)量: 主要功能或目標(biāo):滿足國家級物理實(shí)驗(yàn)教學(xué)示范中心、教育部基礎(chǔ)學(xué)科拔尖學(xué)生培養(yǎng)計(jì)劃.的教學(xué)實(shí)驗(yàn)平臺建設(shè)需求。該設(shè)備在高真空狀態(tài)下由電子束加熱坩堝中的金屬,使其熔融后蒸發(fā)到所需基片上形成金屬膜,是半導(dǎo)體微納加工設(shè)備之一。 需滿足的要求:.優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料的主腔體和過渡腔體。 .采用進(jìn)口渦旋分子泵和渦旋干泵本底真空優(yōu)于-。 .-基距:>。 .電型電子槍,工作真空-; 配穴直冷式坩堝。 .高精度膜厚控制儀,厚度和速率分辨率/測量:±. ?,速率顯示:. ?/秒。 .設(shè)備可升級高通量掩模版,通過掩膜板的運(yùn)動(dòng)在基片上實(shí)現(xiàn)連續(xù)二元和三元組分薄膜沉積。 按規(guī)定落實(shí) ,,. 年月 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。 華南師范大學(xué) 年月日
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