為便于供應(yīng)商及時(shí)了解政府采購(gòu)信息，根據(jù)《財(cái)政部關(guān)于開展政府采購(gòu)意向公開工作的通知》（財(cái)庫(kù)〔〕號(hào)）等有關(guān)規(guī)定，現(xiàn)將本單位年月至年月采購(gòu)意向公開如下： 序號(hào) 采購(gòu)項(xiàng)目名稱 采購(gòu)需求概況 落實(shí)政府采購(gòu)政策情況 預(yù)算金額(元) 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間 備注 華南師范大學(xué)無(wú)掩膜紫外光刻機(jī)采購(gòu)項(xiàng)目 標(biāo)的名稱：無(wú)掩膜紫外光刻機(jī) 標(biāo)的數(shù)量： 主要功能或目標(biāo)：無(wú)掩膜紫外光刻機(jī)是半導(dǎo)體材料、器件與微納技術(shù)研究的重要工具，主要功能有掩膜版制作、光刻膠直寫以及多層套刻直寫等，其原理是利用特定波段的光源直接對(duì)涂有光刻膠的襯底材料進(jìn)行曝光，配合后段的顯影工藝，讓圖形直接呈現(xiàn)于基板上的一種微納米制作技術(shù)。 需滿足的要求：光刻精度：至少支持兩個(gè)光刻鏡頭：光刻鏡頭：最小線寬≤. μ，工作距離≥ ；光刻鏡頭：最小線寬≤. μ，工作距離≥ ；同時(shí)支持步進(jìn)式和掃描式光刻；具備交互式套刻指引功能；具備光學(xué)主動(dòng)對(duì)焦功能；支持光刻鏡頭電動(dòng)切換；數(shù)字掩模板分辨率：≥ * （高速），微鏡尺寸≤. ；支持樣品電動(dòng)旋轉(zhuǎn)；具有原位光繪、物像綁定、成像拼接和畸變矯正功能。 按規(guī)定落實(shí) ,,. 年月 本次公開的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。 華南師范大學(xué) 年月日