刻蝕機 項目所在采購意向： 復旦大學年至月政府采購意向 采購單位： 復旦大學 采購項目名稱： 刻蝕機 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 電子工業(yè)生產(chǎn)設備 采購需求概況 ： 反應離子蝕刻 ()是一種制造微觀和納米結構的等離子體蝕刻技術。 在蝕刻過程中，樣品表面與低壓等離子體產(chǎn)生的高能離子/自由基相互作用形成揮發(fā)性化合物。 揮發(fā)性化合物從樣品表面被去除，并實現(xiàn)了各向同性或各異性輪廓。通過優(yōu)化干式蝕刻配方（腔體壓力、射頻功率、氣體流量比），可以使用蝕刻技術蝕刻各種類型的材料。本項目根據(jù)科研需求計劃采購一臺刻蝕機。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。