離子束刻蝕系統(tǒng) 項目所在采購意向： 華南理工大學(xué)年月政府采購意向 采購單位： 華南理工大學(xué) 采購項目名稱： 離子束刻蝕系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 其他電工、電子生產(chǎn)設(shè)備 采購需求概況 ： 離子束刻蝕系統(tǒng)主要用于芯片制造過程中的各種材料，特別是金屬材料等的刻蝕。需要滿足寸及以下晶圓和小片刻蝕；配備采用 離子源，刻蝕均勻性優(yōu)于 %；載片臺具備背 氣體冷卻裝置，自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速可調(diào)；包含進樣室；具備終點檢測功能。設(shè)備穩(wěn)定性和可重復(fù)性好，刻蝕速率可精確調(diào)控。設(shè)備維護簡單，保修期不低于年。 預(yù)計采購時間： - 備注： 歡迎供應(yīng)商提供相關(guān)產(chǎn)品或服務(wù)信息，產(chǎn)品資料可發(fā)送至采購人郵箱：@..，郵件標題：“*****采購意向推薦產(chǎn)品”,聯(lián)系電話：-。 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準。