深圳大學(xué)-等離子刻蝕機(jī)意向公開 采購單位: 深圳大學(xué) 項(xiàng)目名稱: -等離子刻蝕機(jī) 預(yù)算金額（元）: ,,. 采購品目: 壓片加工設(shè)備 采購需求概況: -等離子刻蝕設(shè)備利用感應(yīng)耦合產(chǎn)生高密度等離子體，實(shí)現(xiàn)硅、介質(zhì)、石英等材料的干法刻蝕，并能在常溫下完成工藝，實(shí)現(xiàn)深硅刻蝕，具備激光終點(diǎn)監(jiān)測功能。高耦合效率和低離子能量，減少材料損傷，結(jié)合動態(tài)溫度與氣體流量控制，實(shí)現(xiàn)高精度刻蝕。工藝用于精細(xì)刻蝕三維結(jié)構(gòu)，達(dá)到高深寬比、高選擇性和垂直度。激光終點(diǎn)監(jiān)測功能確保刻蝕精度，滿足多層結(jié)構(gòu)加工中對每層刻蝕深度、形狀和位置的精確控制。 聯(lián)系人: 陳老師 聯(lián)系電話: 預(yù)計(jì)采購時間: - 備注: 無 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)