離子注入機 項目所在采購意向： 西安交通大學(xué)年至月政府采購意向 采購單位： 西安交通大學(xué) 采購項目名稱： 離子注入機 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 其他分析儀器 采購需求概況 ： 對樣品表面進(jìn)行元素?fù)诫s改性。 常用于半導(dǎo)體材料中雜質(zhì)的控制和改變材料導(dǎo)電性能和電子結(jié)構(gòu)；修復(fù)納米加工過程中因蝕刻過程中產(chǎn)生的損傷或缺陷，提高器件的加工質(zhì)量和可靠性；改變材料表面的化學(xué)成分、結(jié)構(gòu)和性質(zhì)，從而實現(xiàn)對材料表面硬度、耐腐蝕性、潤滑性等方面的改良。 預(yù)計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。