高真空電子束蒸鍍系統(tǒng) 項目所在采購意向： 西安交通大學年月政府采購意向 采購單位： 西安交通大學 采購項目名稱： 高真空電子束蒸鍍系統(tǒng) 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 其他分析儀器 采購需求概況 ： 本項目采購高真空電子束蒸鍍系統(tǒng)套，主要用于量子器件領域中薄膜電極、柵極、導電層等關鍵組件及光學薄膜的高精度制備研究，要求實現(xiàn)穩(wěn)定可控的薄膜沉積速率和精準膜厚，具備高真空環(huán)境下的電子束加熱功能，并由膜厚監(jiān)控儀和控制系統(tǒng)確保沉積過程的精確性和可重復性。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。