高通量脈沖激光沉積系統(tǒng) 項目所在采購意向： 重慶大學年月政府采購意向 采購單位： 重慶大學 采購項目名稱： 高通量脈沖激光沉積系統(tǒng) 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 真空應用設備 采購需求概況 ： 擬建設系統(tǒng)是在襯底加熱的條件下，實現一定范圍氧壓氛圍內多元復雜氧化物薄膜的生長、原位質量監(jiān)控與編程可控的薄膜高通量生長。主要涉及的參數包括背底真空、高溫下背底真空、氧氣氛圍下的壓強可控范圍、基片溫度范圍、升溫速率、反射式電子衍射使用壓強范圍、靶材數量、靶間距、激光能量密度等。 需要包含如下主系統(tǒng)和配件 沉積腔體程控系統(tǒng) 套 多靶材操作系統(tǒng) 套 襯底加熱系統(tǒng) 套 反射式高能電子衍射儀 套 加載互鎖傳送真空室 套 準分子激光器與配套光路 套 臭氧發(fā)生器 套 一維掩膜板裝置 套 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。