為便于供應(yīng)商及時(shí)了解政府采購信息，根據(jù)《財(cái)政部關(guān)于開展政府采購意向公開工作的通知》（財(cái)庫〔〕號(hào)）等有關(guān)規(guī)定，現(xiàn)將本單位年月至年月采購意向公開如下： 序號(hào) 采購項(xiàng)目名稱 采購需求概況 預(yù)算金額(萬元) 預(yù)計(jì)采購時(shí)間 備注 直寫光刻設(shè)備采購項(xiàng)目 采購內(nèi)容:光刻設(shè)備平臺(tái)系統(tǒng)；光學(xué)系統(tǒng)；微納結(jié)構(gòu)軟件生成庫（包括全息庫、面型補(bǔ)償功能）；主要功能或目標(biāo):最高灰度階數(shù)達(dá)階,為目前全球報(bào)道的最高階數(shù)。 平臺(tái)系統(tǒng)：最大行程=，=；定位精度分辨率（精密光柵尺）；重復(fù)定位精度；樣品固定方式：真空吸附，不同尺寸的卡盤進(jìn)行樣品定位；最大掃描速度/；運(yùn)動(dòng)直線度：&; μ ；樣品尺寸最大×，向下兼容；支持襯底厚度 ~，采用電機(jī)自動(dòng)驅(qū)動(dòng)軸高度。 光學(xué)系統(tǒng)： ，功率 ，壽命＞ 小時(shí)； 波長紅外自動(dòng)光學(xué)聚焦系統(tǒng)；最小分辨率 ，支持 、 的光學(xué)分辨率的自動(dòng)切換，無需手動(dòng)更換。 系統(tǒng)自帶面型補(bǔ)償功能（），面型一致性高。 ；需滿足的要求:項(xiàng)目建設(shè)后，建成并投入使用主要應(yīng)用于掩膜板，芯片、微機(jī)電系統(tǒng)、傳感器、折射及衍射光學(xué)系統(tǒng)、微光機(jī)電，超材料以及新穎材料等領(lǐng)域，是微納圖形制備的最有效，最直接的加工方式。適用于各類衍射光學(xué)元件、全息元件的批量化制備。與實(shí)驗(yàn)室現(xiàn)有的薄膜沉積、等離子體刻蝕設(shè)備可以構(gòu)建一套完整的微納光學(xué)元件制造體系。項(xiàng)目支持的學(xué)科：光學(xué)工程、儀器科學(xué)與技術(shù)。項(xiàng)目支持的專業(yè)：測控技術(shù)與儀器、光電信息科學(xué)與工程兩個(gè)國一流專業(yè)，電子科學(xué)與技術(shù)一個(gè)省一流專業(yè)。。 . 年月 無 低壓等離子體化學(xué)氣相沉積采購項(xiàng)目 采購內(nèi)容:低壓等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)；主要功能或目標(biāo):單腔反應(yīng)爐單腔反應(yīng)爐；最大晶圓尺寸英寸（）；最大加工數(shù)量片；反應(yīng)方式：熱反應(yīng)（℃）；可加工工藝：, , , , , ....