英寸槽式小尺寸高精度橫向濕法刻蝕設(shè)備 項(xiàng)目所在采購意向： 中國科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院微電子研究所 采購項(xiàng)目名稱： 英寸槽式小尺寸高精度橫向濕法刻蝕設(shè)備 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購需求概況 ： 采購標(biāo)的名稱：英寸槽式小尺寸高精度橫向濕法刻蝕設(shè)備。采購數(shù)量為臺。采購標(biāo)的主要功能：滿足英寸晶圓的槽式濕法刻蝕，槽數(shù)數(shù)量為個(gè)刻蝕槽，個(gè)清洗槽，用于刻蝕 等薄膜材料薄，深寬比:深孔，橫向刻蝕上下層刻蝕差小于%。采購標(biāo)的需滿足的質(zhì)量，服務(wù)，安全，時(shí)限：提供設(shè)備驗(yàn)收合格后年質(zhì)保及一體化環(huán)境工程整體解決方案；設(shè)備訂單生成后月內(nèi)交貨安裝完成。 預(yù)計(jì)采購時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。