寸等離子增強(qiáng)氣相沉積 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 東南大學(xué)年至月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 東南大學(xué) 采購(gòu)項(xiàng)目名稱： 寸等離子增強(qiáng)氣相沉積 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： 熱處理設(shè)備 采購(gòu)需求概況 ： 具有三個(gè)以上英寸晶圓沉積腔，可實(shí)現(xiàn)液體源的導(dǎo)入，可沉積,,等薄膜，英寸晶圓片內(nèi)不均勻度小于%。 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： -熱處理設(shè)備 本次公開的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。