項目位于上海市浦東新區(qū)臨港新片區(qū)，總建筑面積約13.8萬平方米，建設(shè)內(nèi)容包括兩座研發(fā)樓、兩座高層廠房、一座輔助廠房，主要用于高端半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)、設(shè)計、制造。項目的落成投產(chǎn)，將助力盛美半導(dǎo)體向綜合性平臺型集成電路裝備集團轉(zhuǎn)型和發(fā)展，提升中國集成電路裝備核心競爭力，躋身全球集成電路設(shè)備企業(yè)第一梯隊，促進產(chǎn)業(yè)鏈上下游的協(xié)同創(chuàng)新發(fā)展，推動上海向集成電路世界級產(chǎn)業(yè)集群目標(biāo)加快邁進