上海機電設備招標有限公司受招標人委托對下列產(chǎn)品及服務進行國際公開競爭性招標，于--在中國國際招標網(wǎng)公告。本次招標采用傳統(tǒng)招標方式，現(xiàn)邀請合格投標人參加投標。 、招標條件 項目概況:杭州積海半導體有限公司計劃為英寸集成電路制造項目購買一批設備 資金到位或資金來源落實情況:現(xiàn)招標人資金已到位 項目已具備招標條件的說明:具備了招標條件 、招標內(nèi)容 招標項目編號:-/ 招標項目名稱:二次離子質(zhì)譜儀 項目實施地點:中國浙江省 招標產(chǎn)品列表(主要設備): 序號 產(chǎn)品名稱 數(shù)量 簡要技術(shù)規(guī)格 備注 激光尖峰退火機 套 本設備主要用于激光尖峰退火 原子力顯微鏡 套 用于特征形貌、深槽和深孔的深度及特征關鍵尺寸量測，并符合杭州積海半導體(以下簡稱)制程工藝的量測需求 晶圓激光打標機 臺 產(chǎn)品制程需求須將晶圓編碼刻號以利識別, 其方式為利用激光刻碼，以客戶指定的位置和內(nèi)容對硅片做統(tǒng)一標識，便于對硅片能進行有效的追蹤 高壓擴散爐 套 本設備主要用于高壓退火氧化爐管 傅立葉變換紅外光譜儀 臺 用于測量薄膜厚度及其特定元素之含量，并針對符合杭州積海半導體(以下簡稱)需求線寬的晶圓產(chǎn)品進行非接觸與非破壞性式量測 光學關鍵尺寸量測儀及建模擬真系統(tǒng) 套 用于周期性的二維、三維特征尺寸和形貌的細微結(jié)構(gòu)測量，并針對符合杭州積海半導體(以下簡稱)需求線寬的晶圓產(chǎn)品進行非接觸與非破壞性式量測 射線光電子能譜儀含建模擬真系統(tǒng) 套 用于一般超薄膜的種類、厚度與成份在線量測，并針對符合杭州積海半導體(以下簡稱)需求線寬的晶圓產(chǎn)品進行非接觸與非破壞性式量測 射線熒光光譜儀 臺 用于測量金屬薄膜厚度及其特定元素含量，并針對符合杭州積海半導體(以下....
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