項目概況 等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) 招標(biāo)項目的潛在投標(biāo)人應(yīng)在華采招標(biāo)集團(tuán)有限公司（北京市豐臺區(qū)廣安路號國投財富廣場號樓室）獲取招標(biāo)文件，并于年月日 點(diǎn)分（北京時間）前遞交投標(biāo)文件。 一、項目基本情況 項目編號：-- 項目名稱：等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) 預(yù)算金額：. 萬元（人民幣） 采購需求： 碳基柵疊層項目是為推動碳基芯片的發(fā)展而設(shè)立，氧化硅和氮化硅薄膜是碳基器件測墻薄膜主要組成，等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積是沉積氧化硅和氮化硅薄膜最主要的工藝，具有沉積速率快，沉積溫度低的特點(diǎn)，其原理是在射頻源驅(qū)動下，通過感應(yīng)耦合方式、在反應(yīng)腔的上電極、下電極之間生成高密度等離子體，通過氣路系統(tǒng)進(jìn)入反應(yīng)腔的工藝氣體分子被電離生成等離子體；等離子體中的自由基發(fā)生化學(xué)反應(yīng)、生成氧化硅、氮化硅等介質(zhì)，在襯底材料（例如硅、砷化鎵等半導(dǎo)體材料）上沉積成固體薄膜，對推進(jìn)碳基集成電路的研發(fā)非常重要。具體詳見招標(biāo)文件第四章采購需求。 合同履行期限：合同簽訂后天交貨并安裝完畢 本項目(不接受 )聯(lián)合體投標(biāo)。 二、申請人的資格要求： .滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定； .落實政府采購政策需滿足的資格要求： 無 .本項目的特定資格要求：()投標(biāo)人必須為投標(biāo)文件遞交截止之日前未被列入“信用中國”網(wǎng)站（...）、中國政府采購網(wǎng)（...）信用記錄失信被執(zhí)行人、重大稅收違法失信主體、政府采購嚴(yán)重違法失信行為記錄名單的；()不同投標(biāo)人的法人、單位負(fù)責(zé)人不是同一人也不存在直接控股、管理關(guān)系；()投標(biāo)人必須向采購代理機(jī)構(gòu)購買招標(biāo)文件并登記備案，未向采購代理機(jī)構(gòu)購買招標(biāo)文件并登記備案的無資格參加本次投標(biāo)；()本項目不接受聯(lián)合體投標(biāo)；()本項目接受進(jìn)口產(chǎn)品；()本項目非專門面向中小企業(yè) 三、獲取招標(biāo)文件 時間：年月日 至年月日，每天上午:至:，下午:至:。（北京時間，法定節(jié)假日除外） 地點(diǎn)：華采招標(biāo)集團(tuán)有限公司（北京市豐臺區(qū)廣安路號國投財富廣場號樓室） ....