存儲芯片晶圓級測試系統 項目所在采購意向： 中國科學院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院微電子研究所 采購項目名稱： 存儲芯片晶圓級測試系統 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -半導體器件參數測量儀 采購需求概況 ： 采購標的名稱：存儲芯片晶圓級測試系統 主要功能： 搭配測試板卡直接對晶圓測試，準確測取晶圓數據，分析晶圓不同位置的器件性能，分析工藝參數對器件影響，反饋到光刻制程，建立器件可靠性與光刻參數工藝庫，目標提高測試和工藝優(yōu)化迭代效率。 采購標的數量：臺 質量要求： 、可實現對新型存儲器芯片的性能測試； 、最多提供路數字通道資源，可進行最多并行同測； 、可與/連接，進行自動測試； 、最大支持路源，路，路單元和卡； 、支持最高工作頻率；測試通道頻率支持最高。 服務、安全、時限等要求： 提供設備驗收合格后年質保。提供符合現場實際情況的設備安裝方案。設備訂單生成后年內交貨安裝完成。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。