垂直流熱型原子層沉積系統(tǒng) 項(xiàng)目所在采購意向： 中國科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院微電子研究所 采購項(xiàng)目名稱： 垂直流熱型原子層沉積系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購需求概況 ： 溫度范圍：~℃，控溫精確度±℃ 內(nèi)腔材質(zhì)：合金 金屬沾污：&;/； 本底真空：≤ 腔室真空漏率：≤-./ 機(jī)械（膜內(nèi)）顆粒：.&; 個 滿足以下至* 小片加工 膜厚片內(nèi)片間均勻性:(&;%) 熱源≧個，液源≧個，工藝氣路≧路 臭氧發(fā)生器： ≧% 干泵抽速 ≧ / （配分子泵） 閥門響應(yīng)時間： ≤ 閥門最高溫度： ≤ ℃ 預(yù)計(jì)采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。