板材金屬化設(shè)備 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所 采購(gòu)項(xiàng)目名稱： 板材金屬化設(shè)備 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： -樣品前處理及制備儀器 采購(gòu)需求概況 ： 在使用特種感光介質(zhì)材料通過(guò)曝光顯影工藝實(shí)現(xiàn)超小節(jié)距盲孔，因感光介質(zhì)材料無(wú)法通過(guò)化銅工藝沉積種子層，所以需要通過(guò)濺射實(shí)現(xiàn)板級(jí)介質(zhì)表面的金屬化。急需利用此設(shè)備開(kāi)展用于埋入式基板技術(shù)研究和工藝開(kāi)發(fā)，支撐后摩爾時(shí)代的技術(shù)跨越 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。