吋晶圓級等離子體增強化學(xué)氣相沉積 項目所在采購意向： 中國科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院微電子研究所 采購項目名稱： 吋晶圓級等離子體增強化學(xué)氣相沉積 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購需求概況 ： 項目設(shè)計制備具有多種元素?fù)诫s的無定形碳化物薄膜介質(zhì)材料來替代傳統(tǒng)二氧化硅介質(zhì)材料，通過在介質(zhì)界面處形成蓄水池結(jié)構(gòu)，從而有效抑制水汽等副產(chǎn)物帶來的孔洞問題。此外，芯片的多層堆疊需要涉及帶有臨時鍵合膠的薄晶圓沉積工藝，要求沉積溫度低于℃，晶圓制造段設(shè)備主要用于氧化物沉積無法滿足三維異質(zhì)異構(gòu)集成所需薄膜種類和沉積溫度需求，項目承擔(dān)單位目前無相關(guān)設(shè)備，因此急需要購置本設(shè)備用于三維異質(zhì)異構(gòu)集成技術(shù)開發(fā)。 預(yù)計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。