英寸晶圓兆聲清洗機(jī) 項(xiàng)目所在采購意向： 中國科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院微電子研究所 采購項(xiàng)目名稱： 英寸晶圓兆聲清洗機(jī) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購需求概況 ： 采購標(biāo)的名稱：英寸晶圓兆聲清洗機(jī)。采購標(biāo)的主要功能：針對小尺寸用于拋光后及刻蝕后晶圓的刷洗工藝。主要目標(biāo)：粒徑＞. 的顆粒去除率 &;%; 碎片率 ＜‰; 劃痕率＜‰ 。采購數(shù)量：臺 。采購標(biāo)的所需質(zhì)量：針對英寸晶圓內(nèi)以下小孔顆粒去除率大于等于%，并且重復(fù)性好。服務(wù)、安全、時(shí)限要求：提供設(shè)備驗(yàn)收合格后年質(zhì)保。提供符合現(xiàn)場實(shí)際情況的設(shè)備安裝方案。設(shè)備訂單生成后年內(nèi)交貨安裝完成。 預(yù)計(jì)采購時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。