英寸晶圓 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所 采購(gòu)項(xiàng)目名稱(chēng)： 英寸晶圓 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： -金屬表面處理設(shè)備 采購(gòu)需求概況 ： 采購(gòu)標(biāo)的名稱(chēng)：英寸晶圓。采購(gòu)標(biāo)的主要功能：用于小尺寸器件制造過(guò)程中晶圓全局均勻平坦化。主要目標(biāo)：拋光后表面達(dá)到超高平整度且表面粗糙度小于.，英寸晶圓片內(nèi)磨削＜，晶圓尺寸： 。采購(gòu)數(shù)量：臺(tái) 。采購(gòu)標(biāo)的所需質(zhì)量：片內(nèi)平坦化均一性高，重復(fù)性好。服務(wù)、安全、時(shí)限要求：提供設(shè)備驗(yàn)收合格后年質(zhì)保。提供符合現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際情況的設(shè)備安裝方案。設(shè)備訂單生成后年內(nèi)交貨安裝完成。 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。