高通量模塊化空間潤滑薄膜陣列型沉積系統(tǒng) 項(xiàng)目所在采購意向： 中國科學(xué)院蘭州化學(xué)物理研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院蘭州化學(xué)物理研究所 采購項(xiàng)目名稱： 高通量模塊化空間潤滑薄膜陣列型沉積系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 金屬表面處理設(shè)備 采購需求概況 ： 擬采購的高通量模式化空間潤滑薄膜線列型沉積系統(tǒng)可完成小靶源條件下大工件的快速固體潤滑處理，并獲得大尺寸復(fù)雜形狀工件的固體潤滑處理的實(shí)施工藝，實(shí)現(xiàn)對大尺寸異形工件的薄膜潤滑性能的質(zhì)量管控，滿足空間有效載荷后續(xù)異形工件的固體潤滑處理難題。.三腔室，可調(diào)移動 .極限真空度：優(yōu)于.- 預(yù)計(jì)采購時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。