真空一體化解理鍍膜裝置 項(xiàng)目所在采購意向： 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 采購項(xiàng)目名稱： 真空一體化解理鍍膜裝置 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購需求概況 ： 設(shè)備不僅可以實(shí)現(xiàn)真空下的激光芯片的解理，也可以進(jìn)行金屬膜和介質(zhì)膜的一體化鍍膜工藝，實(shí)現(xiàn)中長(zhǎng)紅外波段的高反膜制備。 預(yù)計(jì)采購時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。